反应磁控溅射沉积氧化物的等离子体及基片不稳定现象研究
Release time:2024-08-19
Hits:
- Affiliation of Participant(s):
- 重庆工商大学
- Leading Scientist:
- Xu Wei
- Supported by:
- 重庆工商大学
- Classification of Project:
- 自然科学类
- Nature of Project:
- 纵
- Supported by:
- 学校立项项目（含重点、一般、青年）
- Project level:
- 5.校级
- Project Participants:
- YX,唐和礼,吴昊峰
- Project Number:
- JNB7SBEGXMNNL834G9S4X9CCJFY771QL
- Classification of Disciplines:
- Physics
- Date of Project Completion:
- 2023-12-31
- Date of Project Initiation:
- 2021-07-01
- Subsidy Amount(ten thousand yuan):
- 20000.0
- Pre One:PECVD沉积SiNxOy时的等离子体以及与其性质的关系研究
- Next One:基于可规模化方法制备氧化银基纳米多孔薄膜及其光电性质研究