基于AlN的电热微镜位置检测方法及技术研究
发布时间：2024-12-18
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- 负责人姓名：
- 江超
- 项目来源单位：
- 北京理工大学重庆微电子研究院
- 项目分类：
- 自然科学类
- 项目来源：
- 其他研究项目
- 项目级别：
- 其他
- 项目参与人员：
- 焦文龙，李易，齐强先，毛小丹，向阳，向东，张新超
- 学科门类：
- 工学
- 一级学科：
- 电子科学与技术
- 立项时间：
- 2024-06-01
- 计划完成时间：
- 2025-05-31
- 资助额度(万元)：
- 45.0