Room-temperature deposition of low H-content SiNx/SiNxOy thin films using a specially designed PECVD system
发布时间：2024-08-19
点击次数：
- 发表刊物：
- surface & coatings technology
- 第一作者：
- Xu Wei
- 合写作者：
- Tang He-Li,Zhang Qing-Yu,Zhou Nan,Shen Yu
- 论文类型：
- 源刊论文
- 论文编号：
- NKG3PGIDC62XYD88HL3DH20ZQO9GA4M3
- 期号：
- 402
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2020-11-25