PECVD沉积SiNxOy时的等离子体以及与其性质的关系研究
发布时间：2024-08-19
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- 所属单位：
- 重庆工商大学
- 负责人姓名：
- 徐伟
- 项目来源单位：
- 大连理工大学
- 项目分类：
- 自然科学类
- 项目性质：
- 横
- 项目来源：
- 事业单位委托项目
- 项目级别：
- 6.横向
- 项目参与人员：
- 杨旭,周楠
- 项目编号：
- RTFLCG2M2QOC2YZ8NL2F3F3OJOS6NIW6
- 学科门类：
- 物理学
- 结项日期：
- 2022-07-30
- 开始日期：
- 2020-07-15
- 资助额度(万元)：
- 40000.0