沉积氧化物反应磁控溅射工艺不稳定性监测体系构建
发布时间：2024-08-19
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- 所属单位：
- 重庆工商大学
- 负责人姓名：
- 徐伟
- 项目来源单位：
- 重庆市教育委员会
- 项目分类：
- 自然科学类
- 项目性质：
- 纵
- 项目来源：
- 市教委自然科学项目
- 项目级别：
- 4.市教委级
- 项目参与人员：
- 杨旭,齐高相
- 项目编号：
- 9ADB44602636723AE05370001EAC49F0
- 学科门类：
- 物理学
- 结项日期：
- 2022-10-30
- 开始日期：
- 2019-10-30
- 资助额度(万元)：
- 10000.0